SCM: 量测样品电容随交变电压的变化率dC/dV，SCM为掺杂形态的定性分析，其信号会受到外在环境的影响，其颜色的变化仅代表样品信号的强弱，无法直接做浓度的判断。

AFM: 原子力显微镜（Atomic Force Microscope ，AFM），一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构面的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表结构及性质。

C-AFM是原子力显微镜的一种功能扩展。它是基于原子力显微镜基础上增加一个功能模块，在接触模式下，原子力显微镜的探针针尖以样品存在欧姆接触，如果我们采用导电探针，并在样品和探针间加一偏压，在扫描成像的过程中，实时地检测探针和样品间的电流变化，就可以得到样品不同区域的电导信息。

OM: 光学显微镜（简写OM）是一种显微镜，利用光学原理，把肉眼所不能分辨的微小物体放大成像，以供人们提取微细结构信息的光学仪器，可以观察材料的晶相结构和表面缺陷。

晶圆级失效分析